日本/KASHIYAMA 樫山工业 干式真空泵 MU300X 中国总经销
日本/KASHIYAMA 樫山工业 干式真空泵 MU300X 中国总经销
日本/KASHIYAMA 樫山工业 干式真空泵 MU300X 中国总经销
日本/KASHIYAMA 樫山工业 干式真空泵 MU300X 中国总经销
樫山工业（KASHIYAMA）工业自1946年创建以来,持续不断拓展业务以应时代的需求,是秉着用户至上的信念走过来的。特别是在真空泵领域上,樫山工业坚持不懈地研究,不断地创造出先进的高科技产品。樫山工业提供的真空泵及真空设备被应用在广泛的高科技领域当中,其中包括半导体制造业和液晶显示制造行业。
樫山工业的产品在半导体制造领域和先进的高科技行业中已经荣获了极高的评价与信赖。尤其是来自于半导体制造行业的信赖,这是樫山工业多年长期以来不断开发进取真空技术的结果。
樫山工业的干式真空泵系列已经成为半导体制造业与液晶显示制造行业的标准设备。并在极高难度的制程发挥上获得了客户的高度信赖与评价。
Major Products
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Spec. / Products
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MU100X
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MU180X
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MU300X
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MU600X
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MU1200X
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MU20M18X
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Max. pumping speed
[L/min] *1
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1,660
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3,000
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5,000
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10,000
|
20,000
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30,000
|
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Ultimate pressure
[Pa] *1
|
1.5
|
0.5
|
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Supply voltage
(50/60Hz)
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3Phase AC200～220V *2
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Power consumption
[kW] *3
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0.35
|
0.5
|
0.55
|
0.6
|
0.7
|
1.5
|
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Dimensions [mm]
W*H*L *4
|
W:230
H:275
L:450
|
W:280
H:299
L:550
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W:230
H:520
L:450
|
W:230
H:520
L:530
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W:275
H:580
L:625
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W:500
H:950
L:1100
|
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Mass [kg]
|
60
|
95
|
100
|
120
|
165
|
340
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*1) Without N2 purge. *2) Contact us for other voltage options. *3) Approx. value at ultimate pressure. *4) Package size.
* Contact us about international standard compliance. Spec. & name of products are subject to change without prior notice.
* Contact us about large capacity pumps.
