真空泵都有哪些类型?选择方法教给你?

一、按性能特点和用途分类

(1)低真空泵

泵的极限压力高于102Pa的真空泵属于低真空泵。常见的低真空泵有往复式真空泵、旋转式真空泵、液环式真空泵、喷射式真空泵以及吸附式真空泵。

(2)中真空泵

极限压力在102~-10-1Pa的真空泵属于中真空泵。常见的有罗茨真空泵、多级喷射式真空泵、多级旋转机械真空泵以及高速旋转式机械真空泵等。

(3)高真空泵

限压力在10-1~10-5Pa的真空泵属于高真空泵。常见的高真空泵有各种扩散泵及分子泵等。

(4)超高真空泵

极限压力低于10-5Pa的真空泵属于超高真空泵。超高真空泵主要有各种离子泵、低温泵等。

 

二.按工作原理和结构特点分类

(1)机械式容积真空泵

靠机械运动使泵腔工作容积周期变化来实现抽气作用的是机核式容积真空泵。属于这类泵的有往复式真空泵、旋转式机械泵(包括旋片式、螺杆式、罗茨式、液环式等)。这类泵中除机械增压泵外，一般均可单独使用。

(2)射流式真空泵

没有机械运动部件,主要靠通过喷嘴的高速射流来抽真空的是射流式真空泵。属于这类泵的有水蒸气喷射泵、空气喷射泵、水喷射泵以及各种扩散泵等。这类泵结构简单,工作可靠,寿命长,易于维修,应用比较普遍。

 

三.各类真空泵的工作压力范围及特征

PART 2/真空泵的选择

01.依据和条件

(1)系统对真空度的要求

根据系统对真空度的要求，选择相应极限真空的泵。一般要求泵的极限真空比系统要求的极限真空高0.5~1个数量级。

(2)系统正常工作时的压力范围

要求泵正常工作的压力范围必须满足系统所要求的工作压力。

(3)被抽气体种类、成分、杂质情况及系统工作时对污染的限制要求

被抽气体性质及对污染的要求是选择不同特性真空泵的一个重要条件。它不但与工作时泵的性能有关，而且直接与泵的工作寿命及检修维护情况有关，特别是在化工生产中，它往往是正确选泵的一个关键因素。

(4)系统被抽气量或体积流量

它是决定选择某一类型真空泵的主要依据。

 

02、真空泵的选择及抽速计算

(1)计算真空泵的有效抽速S (L/s)。

根据真空系统要求的工作压力pg、真空系统的总气体量Q，计算泵的有效抽速

S=Q/pg

式中，Q为真空系统的总气体量，Pa. L/s,包括真空系统工作过程中产生的气体量、真空系统及真空元件的放气量和真空系统的总漏气量。

通常将按此式计算出的有效抽速S增大20%~30%或更大作为主泵的名义抽速。

(2)确定真空泵的抽速。

根据有效抽速S以及泵与真空室之间的连接管道的流导U确定主泵的抽速Sp。由流导串联公式有

1/S=1/Sp +1/U

(3)根据被抽气体种类、成分、温度以及气体含灰尘杂质情况选真空泵 。

(4)根据真空室对油污染要求的不同,来选择有油、无油、半无油、干式、湿式真空泵。干式真空泵适合于要求绝对无油或工作液、或对工作液储存和处理费用比较关切等场合。

(5)根据投资及日常维护运转的经济指标来选择。

03、前级泵的配置及抽速确定

主真空泵选定之后,如何配置前级泵，需遵守的原则是：

① 求前级泵造成主真空泵工作所需的预真空条件;

② 抽走主真空泵产生的最大气体量;

③ 必须满足主真空泵进气口能工作的最大压力时所需的预抽时间要求。

 

四、不同的主真空泵，其前级泵配置各异，分述如下。

(1)蒸汽流泵前级配置

类泵包括油扩散泵、油扩散喷射泵以及增扩泵等。在主泵允许的最大排气口压力下，前级泵需将主泵产生的最大气体量及时抽走，即前级泵的有效抽速必须满足：

Sq> pg .S/ pn或Qmax /pn

式中,Sq——前级泵的有效抽速，L/s，和选择高真空泵一样，先由Sq来确定前级泵的抽速，然后再根据该抽速选定泵型;

pn ——主泵前级的临界前级压力，Pa;

Qmax ——所能排出的最大气体量，Pa .L/s;

pg ——主泵允许的最高工作压力，Pa;

S——主泵工作在pg时的有效抽速，L/s。

在选择前级泵时，应该注意机械泵的抽速是在大气压力下测得的，但正常使用的泵都是在低于大气压的条件下运转，使泵的抽速下降了，因而我们必须根据抽速曲线来选择泵。若没有抽速曲线，可参考经验公式

Sp =(1.5～3) S’p

式中，Sp——实际选用的前级泵的抽速;

S’p——计算要求的前级泵抽速。

 

(2)罗茨泵配置油封机械泵

罗茨泵前级配置油封机械泵时,前级泵的抽速由经验公式确定，即

Sp=(1/3~1/8)SL

式中，Sp——前级泵的抽速，L/s;

SL——罗茨泵的抽速，L/s。

式中，系数选择，通常抽速大的罗获泵取小值，抽速小的选大值。

 

(3)罗茨泵配置水环泵为前级

罗茨泵~水环泵机组，水环泵抽速选择根据经验确定，即

s=(1/3 ~1/5)SL

式中，Ss——前级泵的抽速，L/s;

SL——罗茨泵的抽速，L/s。

 

(4)罗茨泵串联机组

用于较高真空度的罗茨泵不能直接排大气，因此串联二级的罗茨泵仍需要一个机械泵或水环泵后级。

罗茨泵串联机组，有两种配置方
KASHIYAMA真空泵维修日本製KASHIYAMA NeoDry 15C PUMP
Kashiyama NeoDry泵是旋转叶片湿泵和干式涡旋泵的理想替代产品，在这些场合，干式惰性气体，高水分含量的惰性气体或轻度腐蚀性气体需要无油泵送。NeoDry系列的抽速为250、500和600升3 / min，不需要冷却水或氮气吹扫。
南昌KASHIYAMA真空泵维修 Kashiyama SD60V-II Dry Pump and KMB601 Booster.jpg日本KASHIYAMA真空泵维修  KASHIYAMA DRY VACUUM PUMP WITH 3-PHASE INDUCTION MOTOR KMB302 SD90VIII.jpg广州KASHIYAMA真空泵维修 KASHIYAMA IND LTD DRY VACUUM PUMP MU100X.jpgKASHIYAMA真空泵维修 Kashiyama Dry pump SDE120.jpg
应用领域
常规应用
NeoDry泵在负载锁，PVD系统，分析仪器和电子显微镜上均具有出色的性能。
制药实验室
NeoDry泵是替换对环境不利的旋片泵的绝佳选择，并且由于它们没有叶顶密封件，因此可以消除干式涡旋泵暴露于典型实验室化学物质和高水分含量时发生的叶顶密封件膨胀。
医疗OEM设备
NeoDry的紧凑，安静的设计以及支持轻度化学和高水分含量的能力使其成为OEM医疗设备的出色系列。
对于更具侵蚀性的应用，NeoDry系列提供了吹扫空气或氮气的选项，以支持快速去除大量的水蒸气和温和的工艺气体。
HC60
MU100
MU100X
MU303
MU303X
MU603X
MU1203
NEODRY15C
NEODRY15E-1
NEODRY15E-2
NEODRY30C-1
NEODRY30C-2
NEODRY30E-1
NEODRY30E-2
NEODRY36
NEODRY36C
NEODRY36E
NEODRY36E-1
NEODRY36E-2
NEODRY36E-3
NEODRY60-E
NV60N
SD30K
SD90
SD600
SDE90
SDE90X
SDE120
SDE603A
SDE603X
SDE1200
SDE1203
SDE1203TXS
SDE2003BS
SDE2003TZ
SDL30K
SDL40K
技术数据NeoDry 7ENeoDry 15ENeoDry 30ENeoDry 36ENeoDry 60ENeoDry 300E
最大抽速L / min / CFM110 / 3.9250 / 8.8500 / 17.7600 / 21.21,000 / 35.35,000 / 176
极限真空

Pa / mTorr5/37≤1.0 / 7.5≤1.0 / 7.5≤1.0 / 7.5≤1.0 / 7.5≤0.5 / 3.75
最大入口压力大气层大气层大气层大气层大气层大气层
连接尺寸
进气/排气NW25 / NW25NW25 / NW25NW40 / NW25NW40 / NW25NW40 / NW25NW50 / NW25
电机额定功率（kW）0.40.40.750.751.52.2
电源
（50/60 Hz）
1相100-120伏交流电，208-240伏交流电100-120 VAC，208-220 VAC100-120 VAC，208-220 VAC100-120 VAC，208-220 VAC208-220
VAC208-220
VAC
电源
（50/60 Hz）
三相--200至240 VAC200至240 VAC200至240 VAC200至240 VAC200至240 VAC
气镇可用（N2或空气）可用（N2或空气）可用（N2或空气）可用（N2或空气）可用（N2或空气）可用（N2或空气）
最大允许水分
克/小时120250350350600600
噪音（dB（A））≤56≤56≤58≤58≤60≤72
重量千克/磅20/4423/5125/5554/11956/124125/275
任务
苏州希文 Vacuum Services是您在高真空和实验室设备，真空硬件，备件，真空油和油脂的销售和服务方面可信赖的全球领导者。成立于2000年。位于纽约都会区的中心，我们的重点是为我们的行业提供最佳的客户支持和服务。凭借十多年的经验，苏州希文 Vacuum Services致力于提供最高质量的客户满意度。
我们销售和服务备受推崇的品牌，例如Kashiyama，普发真空，安捷伦技术，爱德华兹真空，阿迪森，莱宝真空，Vacuubrand，Brandtech，Yamato，Ulvac，Anest Iwata，贝克尔，阿尔卡特，Apiezon等。
我们的专业知识使我们能够为您的所有真空和实验室需求提供一流的服务。我们服务的设备包括涡轮分子泵，涡旋泵，旋片泵，隔膜泵，工业干泵，氦气检漏仪，真空计和控制器。
KASHIYAMA真空泵维修 HC30 Kashiyama HC30B Screw Drive Dry Vacuum Pump.jpg
我们的客户包括NASA，英特尔，雷神公司，埃克森美孚，希捷，索尼，洛斯阿拉莫斯国家实验室，波音，苏州希文，强生，诺基亚，林德，以及全球数千家公司。
技术员
我们公司的技术人员素质很高，经过专业培训，致力于满足每个客户的需求。无论您是要维修还是购买单台设备或大型的多组件系统，我们都有能力满足您的特定需求。
设备
我们先进的机器使我们能够处理服务和维修过程的所有方面，包括；去污，清洁，干燥和平衡。苏州希文利用行业标准的振动分析设备和先进的测试设备来排除故障并最大程度地减少所有设备故障。
苏州希文真空服务：我们服务的行业
半导体制造
制药业
太阳能电池与光伏
生物燃料研究与制造
物理研究
化学研究
分析仪器
真空冶金
电子束焊接
工具涂层
苏州希文国防研究
半导体制造与研究

越来越多的微芯片产品驱动着半导体行业，每个芯片拥有数十亿个电路。在我们的信息时代，计算机和移动设备（例如智能手机，笔记本电脑和平板电脑）已变得不可或缺。通过重复的真空处理步骤来制造为这些设备供电的芯片。
各种真空系统，例如干式真空泵，涡轮分子泵，检漏仪，真空计和组件，可用于优化从轻载到重载过程的整个应用程序的性能。
应用包括：负载锁定，传送室，计量，光刻和EUV光刻，PVD工艺，PVD预清洗，快速热退火，剥离/灰化，电介质蚀刻，硅导体蚀刻，金属导体蚀刻，PECVD和LPCVD，金属有机CVD以及原子层沉积。
苏州希文真空服务公司专业从事真空泵技术，可实现半导体制造和研究。我们提供全方位的设备，服务和专业知识，以满足微电子设备领域制造和研发的真空产品需求。
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制药与医疗制造与研究
药物和医学研究为改善健康和福祉提供了新的创新疗法。制药研发以及产品和医疗器械制造是一项技术要求很高的行业，并且在众多必不可少的应用中利用了真空技术。
各种真空系统，例如干式真空泵，涡轮分子泵，检漏仪，真空计和组件，可用于优化从轻载到重载过程的整个应用程序的性能。
在医疗设备的制造中，经常需要将泄漏测试作为质量过程的组成部分。包装也是确保药品质量和保存的重要组成部分，因为泄漏会损坏产品。测试的项目包括：包装，植入物，假体，导管，造口术袋，光学器件，水泡，过滤器和袋子。其他重要的应用领域包括：等离子灭菌，真空高压灭菌，MRI和高速离心机。制药科学领域的真空泵技术还用于真空干燥箱，真空过滤，带质谱仪的真空泵气相色谱（GCMS），真空蒸馏和低压气相红外光谱（IR）中。
苏州希文真空服务为制药和医学研究与制造提供和服务各种真空泵产品和技术。
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太阳能电池和光伏制造与研究
太阳能电池或光伏阵列是在基于真空的技术工艺中制造的。太阳能板或光伏阵列是由多个互连的太阳能电池组成的光伏模块的链接集合。光伏（PV）太阳能系统利用太阳光发电，而不会产生噪音，污染或移动部件，从而产生清洁，可靠的电力，可用于包括国际空间站在内的商业，住宅和工业设施。
薄膜制造和研究是太阳能产业的中心。涡轮分子泵用于制造过程中所需的超清洁和高可靠性真空。真空技术的应用包括硅电池和薄膜面板的制造，膜沉积以及质谱仪的利用。
苏州希文 Vacuum Services专业从事高真空泵技术，可实现太阳能电池制造。我们出售和服务于光伏制造和研究使用的真空泵，包括高真空泵，干涡旋真空泵，油封旋转叶片泵。苏州希文真空服务公司还为所有主要的真空泵制造商（包括 Oerlikon / Leybold，Adixen / Alcatel，Edwards Vacuum，Galileo）提供零件和维修套件 ， 并用于太阳能电池的制造和研究。
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生物燃料研究与制造
生物燃料是可再生资源生产的替代燃料。要将燃料分类为生物燃料，它必须包含80％以上的可再生材料。生物燃料最常见的用途是用作汽车运输的液体燃料，例如乙醇或生物柴油。还正在研究和试验用于飞机飞行的可再生喷气燃料的新型生物燃料。生物柴油是通过酯交换过程从通常新种植的可持续农产品（例如棕榈油，菜籽油和大豆油）或回收的食用油，脂肪和脂肪酸中获得的。乙醇是通过发酵从各种生物材料中生产的，例如甘蔗。研究和制造可持续生物燃料，例如生物柴油，
从轻载到重载过程，各种真空系统（例如干式真空泵，涡轮分子泵，检漏仪，真空计和组件）用于优化整个应用程序的性能。
苏州希文真空服务公司为全球的实验室研究实验和生物燃料生产提供真空泵系统，从小型实验室到大型装置。液环泵对于生物柴油燃料工艺至关重要。在苏州希文真空服务公司，我们的专长包括并销售和维修液环泵，以及用于生物燃料研究和制造的旋转叶片，一次通过油旋转叶片以及干式真空泵。
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物理研究
物理学是对物质和能量以及它们如何相互作用的科学研究。能量采取运动，光，电，辐射和重力等多种形式。作为实验科学，物理学家创建了针对观察结果进行检验的理论。广义上讲，它的目标是了解宇宙从亚原子级到整个星系的行为。
物理学子学科的进步具体转化为技术进步。例如，对电磁学的理解的进步导致了电子设备的日益增加的使用。对热力学的深入了解导致了机动化交通的发展，力学和应用力学进一步推动了重大发明，例如铁路，飞机，核反应堆，炼油厂，复合材料和医疗植入物等。
日本KASHIYAMA真空泵维修 KASHIYAMA DRY VACUUM PUMPING UNIT SD606 (LNU-2078) SD606AS-025-60.jpg
真空泵技术在物理学的所有子领域中得到广泛使用。例如，涡轮分子泵广泛用于高能物理，聚变技术和一般的特高压研究。物理学家还使用机械粗加工真空泵技术，包括：旋片泵，旋转活塞泵，干式半导体泵，干式涡旋真空泵，隔膜真空泵和罗茨鼓风机增压真空泵。它们都在当今的物理学研究中发挥了重要作用。
苏州希文真空服务公司出售和提供服务的各种真空技术已存在于世界各地的主要物理研究机构中，它们直接为明天的新发现和技术做出了贡献。
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化学研究
化学是一门物理科学，涉及物质的结构，组成和性质以及化学反应过程中的变化。化学可以被视为物理学的复杂应用。化学学科包括：无机化学，有机化学，生物化学，物理化学，即与能量相关的化学系统的宏观，分子和亚分子尺度的研究，以及分析化学，涉及材料样品的分析。真空技术在化学的所有学科中得到广泛使用。真空条件和方法对专门从事实验研究和理论，新现象和新发现的化学家尤为重要。
世界各地的化学家都依赖并使用苏州希文 Vacuum Services提供的各种真空技术和产品。其中包括：涡轮分子泵，低温泵，混合涡轮分子泵，旋转叶片泵，干式半导体泵，干式涡旋真空泵和旋转活塞泵。
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分析仪器

高性能真空泵对分析仪器的需求比以往任何时候都大。电子显微镜（SEM，TEM），聚焦离子束系统（FIB）和表面分析现代聚焦束系统（例如SEM，TEM和FIB）利用将电子或离子投射到微观样品上的色谱柱进行分析。涡轮分子泵是现代聚焦束系统中的关键组件，因为它们可以快速，无油地抽空大型样品室。无油操作是许多现代分析应用程序的主要要求。
质谱仪可用于分析生产系统中气体混合物的成分。质谱仪（例如LCMS，GCMS，ICPMS和FTMS）是用于定量和定性分析的高度复杂且灵敏的测量工具。它们用于确定化学，材料科学，生物医学，生物制药和环境研究领域中物理样品的元素组成。
需要进行残留气体分析，以评估真空处理室中产生的气体种类。应用包括高真空应用的残留气体分析和超高真空应用。
苏州希文真空服务公司提供各种真空泵和质谱仪系统，旨在满足分析仪器市场的需求。
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真空冶金
真空冶金是通过对金属和合金进行减压，熔融，成型和处理而实现的，减压范围从低于大气压的真空压力到超高真空。通过真空冶金从混合金属颗粒，合金，金属间化合物和难熔金属中分离纯金属的过程是，在相同温度下各种金属的蒸气压是不同的。具有高蒸气压和低沸点的金属可以通过蒸馏或升华与混合金属分离。对金属进行真空加工的三个基本原因：消除了加工环境中的污染，减少了产品中杂质的含量，并减少了杂质的沉积。
苏州希文真空服务为全球客户成功应用真空冶金提供全套真空产品。
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电子束焊接
电子束焊接（EBW）是一种焊接过程，通过高速电子的集中束产生的热量使金属聚结。通过使用安装在真空腔室中的真空泵，可以实现EBW工艺，该真空腔室容纳电子束枪和要连接的金属。动能在撞击金属时转化为热量，立即将其蒸发到熔融阶段。金属被高速电子流轰击时，在金属中产生近25,000℃的热量。与大多数其他焊接工艺相比，这可以焊接更厚的工件。由于来自电子枪的电子束被紧密聚焦，因此总热量输入远低于任何电弧焊工艺。结果是，焊接对周围材料的影响极小，而热影响区则相对较小。最常焊接的金属是超级合金，难熔金属，活性金属和不锈钢。
苏州希文真空服务公司销售和维修用于电子束焊接的全系列真空泵，为世界各地的客户提供其EBW真空需求的服务。
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工具涂层
工具涂层用于提高工具的硬度和耐磨性。工具涂层用于需要可靠且坚固的真空解决方案的高生产环境中。
类金刚石碳（DLC）涂层可赋予其几乎所有材料表面的金刚石属性。诸如立铣刀，钻头，模具和模具之类的工具组件通常使用DLC。DLC涂层的应用还用于现代超级摩托车，一级方程式赛车，NASCAR车辆的发动机，以及硬盘盘片和硬盘读取头上的涂层，以防止磁头碰撞。
物理气相沉积（PVD）机械加工和工具涂层被广泛用于延长生产切削刀具的寿命和生产率。PVD涂层的切削工具可以更快地运行，从而减少了周期时间，并可以在更短的时间内生产更多的零件，而且PVD涂层可以抵抗各种磨损，从而延长了切削工具的使用寿命，从而降低了换刀成本。
化学气相沉积（CVD）是在CVD反应器中于升高的温度下进行的常压控制过程。许多制造应用将CVD涂层用作耐磨涂层。其中包括硬质合金铣削和车削刀片，磨损部件，某些塑料加工工具等。CVD涂层最常见的应用是在金属成型工具中。CVD涂层具有出色的抗磨损和抗磨损性能。
热反应扩散（TD或TRD）是用于生产金属碳化物（通常为碳化钒）的高温涂层工艺。这是在含碳基材表面上利用的多阶段涂层。TD涂层的扩散型结合在金属碳化物层和基材之间提供了出色的附着力。
苏州希文真空服务销售和服务各种真空泵，以满足这些涂层应用的确切要求。
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国防研究
防止技术意外是保持这种优势的关键方面。通过资助革命性的，高回报的研究并弥合基本发现与军事用途之间的差距，苏州希文国防研究处于创新的前沿。真空泵技术被广泛用于军事各个部门的研究中，从而有助于保持其技术优势。
防止技术意外是保持这种优势的关键方面。通过资助革命性的，高回报的研究并弥合基本发现与军事用途之间的差距，苏州希文国防研究处于创新的前沿。真空泵技术被广泛用于军事各个部门的研究中，从而有助于保持其技术优势。
济南KASHIYAMA真空泵维修 KASHIYAMA SD609 Dry Vacuum Pumping Unit.jpg
苏州希文 Vacuum Services还销售和服务真空技术，这些技术有助于保持这项创新研究的技术优势。